廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)二手泵哪里有修真空泵的
預防真空泵因缺真空泵油而卡死
1、定期更換真空泵油,根據行業(yè)不同,真空泵油的質(zhì)量不同,而制定不同的更換周期,一般來(lái)說(shuō)700---3000小時(shí)更換一次,同時(shí)還要更換 真空泵油過(guò)濾器,注意,每次更換真空泵油要CHE底把真空泵油更換掉,不要只是添加。
2、定期清洗真空泵油管。
3、定期更換真空泵油霧分離器,俗稱(chēng)的排氣過(guò)濾器,防止真空泵油隨著(zhù)尾氣排出真空泵,造成真空泵油的減少。
渦輪分子泵 HiPace 1500 特性
對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境應用要求
運行數據監控形成的Z高運行安全性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節流閥和閥門(mén)的集成凈化氣體系統
具有Z高 1450 l/s 抽吸能力的高XING能渦輪泵
適用于輕氣體和重氣體的高抽吸能力
高工藝適用性,防止進(jìn)入顆粒
對于重氣體同樣擁有高氣體通過(guò)量
準 S2 和 UL/CSA 認證
運行數據監控形成的Z高運行安全性
每一臺的進(jìn)口真空泵都是會(huì )有很詳細的保養維護說(shuō)明,一般來(lái)說(shuō),只要是人們的這種進(jìn)口真空泵出現問(wèn)題的時(shí)候,大家都是要首先通過(guò)設備的保養維護的要求來(lái)對比查找是不是自己在進(jìn)行產(chǎn)品的維護的時(shí)候,做的不好或者是不夠,造成一種簡(jiǎn)易的故障,這些故障,一般都是按照使用說(shuō)明,就可以進(jìn)行很好的處理的,也是非常簡(jiǎn)單的一種故障。
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廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)二手泵旋片真空泵維修
分子泵葉片破碎是什么原因造成的呢?
錯誤操作:比如突然的破真空,因為轉子與靜子葉片之間的空隙非常的小,如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟,突然的空氣阻力會(huì )造成葉片變形,這樣可能會(huì )造成轉子靜子之間的摩擦,導致打碎。旋片真空泵維修
油棉污染:油棉變黑,發(fā)黃,建議3-4年更換分子泵油棉,Pfeiffer 復合軸承分子泵內部陶瓷軸承采用油潤滑方式,可以給軸承降溫,減少軸承滾珠磨損并起到清洗分子泵軸承,避免污染物附著(zhù)在軸承上面,有效延長(cháng)分子泵的使用壽命。
由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(cháng)。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著(zhù)中國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。shou先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。旋片真空泵維修
擴散泵:以低壓高速蒸汽流(油或gong等蒸汽)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作??煞譃椋?/span>
① 自?xún)艋瘮U散泵:泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專(zhuān)門(mén)的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵,旋片真空泵維修
② 分餾式擴散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴,而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴,它是一種多級油擴散泵。
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廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)二手泵渦輪分子泵定期保養
定期保養
油旋片泵的泵油起到潤滑、密封和冷卻的作用,工藝氣體中的粉塵,泵運轉時(shí)磨損下來(lái)的金屬碎屑會(huì )進(jìn)入到泵油當中,未成功排出的可凝蒸汽也會(huì )在冷凝后混合在泵油內,到達一定程度,就會(huì )帶來(lái)泵油變色、乳化、潤滑性能下降,所以需要定期更換泵油,有些旋片泵配置了專(zhuān)門(mén)的油過(guò)濾器,在更換泵油時(shí)也要一并更換。更換泵油的頻率取決于實(shí)際的工藝和泵油的種類(lèi),一般建議每半年到1年要更換一次。
渦輪分子泵特點(diǎn)
抽速大、無(wú)油、啟動(dòng)快、無(wú)油污染、維護簡(jiǎn)單
工作范圍:清潔的低真空~中、高真空,大氣~超高真空
極限真空:10/ 10torr
缺點(diǎn):結構復雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高
有大量粉塵的應用一定要加裝粉塵過(guò)濾器
在粉塵量較大的應用中,應加裝進(jìn)氣口粉塵過(guò)濾器,以防止粉塵吸入。否則,大量的粉塵進(jìn)入泵腔,將造成泵腔嚴重磨損,使整臺泵失去維修價(jià)值。
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